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        篤摯儀器(上海)有限公司

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        泰勒霍普森白光干涉儀CCI信息

        2026-1-13 閱讀(246)

        CCI HD:適配制造與研究領(lǐng)域的高精度膜厚測量方案

        CCI HD 是非接觸式光學(xué) 3D 輪廓儀,具備精準(zhǔn)測量薄膜與厚膜的核心能力。其采用關(guān)聯(lián)算法,可精準(zhǔn)定位由精密光學(xué)掃描裝置生成的干涉圖相干峰與相位;整合非接觸式尺寸測量技術(shù)與優(yōu)異的厚薄膜測量方案,除提供尺寸、粗糙度測量功能外,還可實(shí)現(xiàn)兩種類型的膜厚測量。
        近年來,厚膜分析已廣泛應(yīng)用于厚度約 1.5 微米的半透明涂料研究,實(shí)際測量厚度上限取決于材料折射率與標(biāo)的物數(shù)值孔徑(NA)。相對而言,薄涂層測量難度更高,而通過干涉測量法,現(xiàn)已可實(shí)現(xiàn)厚度低至 50 納米的薄涂層研究(測量上限同樣取決于材料折射率)。借助該新型測量方法,可在單次測量中同步獲取膜厚、界面粗糙度、針孔缺陷及薄涂層表面剝離等關(guān)鍵特性參數(shù)。
        泰勒·霍普森 CCI HD 非接觸式白光干涉輪廓儀核心優(yōu)勢參數(shù):
        1. 2048×2048 像素陣列,兼具寬廣視場與高分辨率

        2. 全量程 0.1 埃超高分辨率

        3. 適配 0.3% - 100% 全范圍表面反射率測量

        4. 重復(fù)性優(yōu)異:<0.2 埃 RMS 重復(fù)性,<0.1% 臺階高度重復(fù)性

        5. 搭載多語言版本 64 位控制與分析軟件,操作便捷

        6. 2.2 mm 垂直測量范圍,配備閉環(huán)無壓電 Z 軸掃描儀

        7. 標(biāo)準(zhǔn)配置 AutoStitch 功能,可實(shí)現(xiàn)大型零件的高分辨率測量





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