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GC-9560-PED等離子發射氣相色譜儀適用于超高純氣體中ppt級雜質的檢測，系統配備具有超高靈敏度的等離子發射檢測器，多點串聯式載氣純化系統，采用內壁經Steak鈍化處理的合金色譜柱管材，經過交聯抗氧化處理色譜柱擔體，防止拖尾和氧吸附的發生。
一、等離子發射檢測器（PED）：
等離子發射檢測器是一個靈敏度的通用型檢測器，其內部有一個設計*的，加載高頻高壓電場的石英腔體。當氣體樣品通過石英腔體時被高壓發生器電離，產生一種叫做場致發光的熒光現象并發射出特征譜線，發射譜線隨著載氣中不同物質而發生變化，用這種光發射技術來對樣品進行定量分析。
檢測器產生的光信號被光學系統檢測到，光學系統包括濾光片和光電二極管，濾光片會根據波長選擇性地濾出光信號，并通過光電二極管轉化為電信號，經信號電壓發大器將信號放大到分析所需的程度。
二、 技術指標
1、檢測限（ppb）：
| 組 分 | H2 | O2 | Ar | N2 | CO | CH4 | CO2 |
| 檢測限 | 0.5 | 0.2 | 0.2 | 0.1 | 0.5 | 0.3 | 0.1 |
2、控溫參數：
| 控溫范圍 | 室溫上8℃-400℃ |
| 控溫精度 | ±0.1℃ |
| 程序升溫 | 8階 |
| 程序升溫速率 | 1℃~40℃ |
| 自動后開門 | 有 |
| 降溫速度 | 7分鐘以內（350℃到50℃） |
3、尺寸、重量、電源:
| 尺寸 | 寬655mm×高500mm×深480mm |
| 重量 | ～48kg |
| 電源 | 220V±22V，50Hz |
| 功率 | ≥2kW |
三、系統配置:
（1）GC-9560氣相色譜儀
（2）等離子發射檢測器（PED）
（3）中心切割系統
（4）多柱箱系統
（5）多點串聯純化器
（6）標準氣體
（7）色譜柱
（8）動態稀釋系統
（9）偶聯式氧氬分離系統
（10）載氣減壓閥
（11）無死體積取樣閥
（12）GC-9560V4.0版反控色譜工作站
四、技術特點
經特殊加工的色譜柱技術
（1） 色譜柱管材采用合金材料，內壁經Steak鈍化處理，防止吸附和一氧化碳拖尾等問題的產生
（2） 色譜柱擔體均經過交聯抗氧化處理，避免發生氧吸附
（3） 采用獲得國家的微型填充柱技術，樣品的分離，兼顧分離、穩定與快速
（4） 氧氬可實現分離
