小流量液體蒸發(fā)，CVD工藝應(yīng)用

混合蒸發(fā)器系統(tǒng)作為一款高性能的前驅(qū)體輸送解決方案，其應(yīng)用范圍已實現(xiàn)多市場、多場景的成熟落地應(yīng)用。除精密實驗儀器領(lǐng)域的常規(guī)適配外，該系統(tǒng)還可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能電池制造的核心制程，有效支撐導(dǎo)電層/絕緣層沉積、真空工藝及化學(xué)氣相沉積（CVD）等關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)的高效實施。

我司經(jīng)過憑借十余年精密流體測控領(lǐng)域技術(shù)積淀，結(jié)合國外先進(jìn)技術(shù)，成功研發(fā)了氣液混合蒸發(fā)系統(tǒng)，可為用戶定制滿足嚴(yán)苛工藝需求的專屬解決方案，聚焦快速響應(yīng)、精準(zhǔn)調(diào)節(jié)、高效蒸發(fā)三大核心能力，助力提升混合過程控制精度與生產(chǎn)效率。

氣液混合蒸發(fā)系統(tǒng)，由五個部分組成：一個液體流量控制器（用于控制液體源流量），一個或多個氣體質(zhì)量流量控制器（用于控制載氣流量），一個溫度可調(diào)的混合蒸發(fā)器（用于液體汽化）；一個可選的流量溫度顯示控制儀（用于設(shè)定流量和溫度），一個可選的汽化后稀釋氣體流量控制器（用于產(chǎn)出蒸汽的稀釋）。

典型的CEM 系統(tǒng)如上圖所示：

1、可控制液體流量的（待蒸發(fā)的液態(tài)前驅(qū)體）液體流量控制器/流量計、氣體流量控制器、蒸發(fā)器本體及溫度控制儀。

2、可以利用PLC 和DCS 系統(tǒng)通過MODBUS 或DEVICENET 等協(xié)議實現(xiàn)集中控制，或單獨配備的顯示控制儀進(jìn)行手動操控；可以增加一臺或者多臺載氣流量控制器，實現(xiàn)多組份載氣注入。

3、 蒸汽出口，可以增加三通，接入一臺氣體質(zhì)量流量控制器，對產(chǎn)出蒸汽進(jìn)行稀釋。

如需溝通具體工況應(yīng)用可聯(lián)系頁面的產(chǎn)品經(jīng)理。