項目
詳情
型號
BAR-I80（I=ISO 法蘭，80=80A 口徑）
品牌
MIYUKI 美幸輝
口徑
80A（DN80，ISO 標準法蘭）
工作壓力
10?? ~ 10? Pa（真空至正壓通用）
泄漏量
內部≤1×10?? Pa?m3/s；軸封≤1×10?1? Pa?m3/s
接觸材質
氣體接觸部 SUS304；密封 / 軸封氟橡膠 O 型圈（可選全氟醚）
耐熱溫度
閥體≤150℃；馬達≤40℃
驅動方式
電機直連無背隙，停電時閥門停止（無固定力）
控制信號
支持開度控制（MS-VP）、壓力控制（MG-mini485）等
二、核心優勢
1. 低顆粒低噪：無金屬滑動部件，微小開度壓力穩定，運行噪音極低，適配潔凈制程。
2. 高密封性：內外泄漏量極低，滿足真空 / 微壓、高潔凈度系統要求。
3. 精準控制：電機直連無背隙，全關閉狀態下可實現流量微調，壓力調節精度高。
4. 結構可靠：SUS304 閥體 + 氟橡膠密封，耐溫耐腐，適配半導體、光伏、真空爐等場景。
三、應用與采購要點
1. 適配場景：半導體腔體排氣、PECVD/CVD 工藝壓力穩定、真空系統流導調節、化工反應釜流體控制。
3. 維護建議：定期檢查氟橡膠密封件老化，保持驅動部清潔干燥，避免超溫 / 超壓使用。
深圳電商代理及優勢品牌
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主要合作客戶
關西涂料(ALESCO)、歐菲科技(0-film)、泰晶科技(TKD)、中芯國際(SMIC),京東方(BOE),華星光電(CSOT),天馬(TIANMA),柔宇(ROYOLE)
豐田(TOYOTA)，SUZUKI(鈴木)，比亞迪(BYD),(DI)，艾華集團(AISHI)，駿馬精密(ZAMA)三一重工(SANY),中聯重科(ZOOMLION)
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2026.2.4
