技術參數
| 參數類別 | 參數詳情 |
|---|
| 最小可測量粒徑 | 10μm |
| 粒度分級 | 10μm、30μm、50μm、100μm，可在11～99μm范圍內任意設定值 |
| 兼容晶圓尺寸 | 4英寸 |
| 最大測量面積 | φ80mm |
| 修剪功能 | 有 |
| 顯示切換 | 有（可單獨顯示） |
功能特點
粗顆粒測量
DTSP10-03 是一種特殊的測量裝置，可以測量落塵而不是浮塵，對10μm以上的粗顆粒進行分類和計數。這與傳統的顆粒計數器不同，后者主要用于測量空氣中漂浮的微小顆粒，而無法有效測量導致附著異物的較大粗顆粒。
高效采樣與分析
該設備利用樣品收集板（4英寸硅片），利用粗顆粒的沉降特性，對下落的10μm以上的粗顆粒進行分級計數。這種測量方式可以在任何可以放置硅晶圓的地方進行評估，提高了測量的靈活性和適用性。
數據管理
測量結果可以在PC上顯示和保存，便于進一步分析和記錄。這使得用戶能夠更好地管理和分析落塵數據，從而采取有效的對策減少產品上附著的異物量。
應用場景
無塵室管理
即使在無塵室中工作，異物的量也可能不會減少。DTSP10-03 可以幫助識別和管理這些異物，確保無塵室的清潔度。通過測量落塵而不是漂浮的灰塵，可以更有效地管理附著的異物。
產品質量控制
在電子、半導體等對清潔度有要求的行業中，DTSP10-03 可用于檢測產品表面或生產環境中的落塵，從而提高產品質量和可靠性。
環境監測
該設備還可以用于監測高溫爐內、運行中的傳送帶等難以接近的區域的灰塵附著情況。這有助于及時發現和解決潛在的污染問題，保護設備和人員的安全。
日本 NCC 落塵計數器 DTSP10-03 憑借其對10μm以上粗顆粒的精準測量能力、高效的采樣與分析功能以及廣泛的應用場景，在無塵室管理、產品質量控制和環境監測等領域表現出色，是現代工業和科研中的測量工具。
