一、日常維護清單
真空系統維護
真空泵油位檢查：每日觀察油位視窗，油位接近紅線時補充至紅標線上下區間；油質渾濁或真空泵噪音異常時立即更換。
管路密封檢查：每周檢查真空泵與腔體尾部連接件、三通閥接口是否松動，發現松動及時擰緊。
真空泵散熱：避免連續運行超過1小時，處理后關閉主電源，防止過熱損壞。
腔體清潔
日常清潔：用無塵布蘸酒精或丙酮輕輕擦拭腔體內壁，避免污染物積累影響等離子體均勻性。
深度清潔：每月使用精密粉狀清潔劑（如Alconox）清潔腔體，若污染物無法去除，需更換新腔體。
電極與噴嘴檢查
磨損檢查：每月檢查電極是否有積碳或磨損，長期使用后需翻新維護以保證清洗穩定性。
噴嘴清理：定期清理噴嘴積碳，防止等離子體生成受阻。
氣體供應系統
氣瓶壓力檢查：每日確認氣體是否開啟且未耗盡，檢查減壓表、氣路電磁閥及流量計是否正常工作。
氣路密封性：每月檢查氣體管路是否老化或漏氣，及時更換密封圈。
二、常見故障排查
真空度異常
故障現象：真空泵熱過載保護啟動或真空度無法達到設定值。
排查步驟：
檢查真空泵油位及油質，必要時更換泵油。
檢查真空腔門是否關緊，傳感器及線路是否正常。
逐級排查真空系統中各連接點，確認無管道連接不良或損壞。
等離子體不生成或密度低
故障現象：無法產生等離子體或等離子體密度不足。
排查步驟：
檢查射頻源輸出信號、射頻電纜及匹配網絡，維修故障點。
確認氣源壓力正常，壓力閥及真空閥無堵塞。
檢查腔壁是否污染，必要時進行深度清潔。
設備過熱
故障現象：設備內部溫度過高，保護機制啟動自動關閉。
排查步驟：
檢查冷卻系統是否正常工作，清理風機過濾器。
確認實驗室電壓穩定，避免電壓波動導致設備損壞。
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