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01-29SiC 涂層石墨基座與 Y?O? 抗等離子涂層:關鍵材料與檢測技術
在現代半導體制造工藝中,高性能材料及其精密檢測技術對器件質量、良率和可靠性起著決定性作用。本文結合兩份技術資料,分別介紹用于金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)設備中的SiC涂層石墨基座,以及用于等離子...2026
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