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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
|---|
高性價比干涉式激光尺
干涉式激光尺摒棄了傳統(tǒng)激光干涉儀的分立光學(xué)器件結(jié)構(gòu)，將激光器、調(diào)制器、光電探測器和濾波器等眾多光學(xué)元件集成至單一光學(xué)芯片上，并與激光二極管、探測器陣列和光學(xué)透鏡結(jié)合，形成小型化的激光傳感模組。
高性價比干涉式激光尺特點(diǎn)
（1）可檢測進(jìn)給軸的機(jī)械運(yùn)動誤差
（2）光模塊等核心部件設(shè)計(jì)使用壽命為10年
（3）密封膠條后期替換成本低，反射鏡結(jié)構(gòu)簡單、穩(wěn)定、可靠
（4）簡單的空腔結(jié)構(gòu)使其擁有優(yōu)異的抗污染能力
（5）完善的防護(hù)措施確保了高水平的抗電磁干擾能力
高性價比 干涉式激光尺應(yīng)用
高性價比 干涉式激光尺參數(shù)指標(biāo)
| 接口 | 精度 | 分辨率 | 時鐘輸出 | 移動速度 | 參考點(diǎn) | 其他 |
TTL | 1ppm 2ppm 5ppm | 5um | ＜=80MHz | ＜240m/min | 默認(rèn)位于有效 行程中間 | 1、可選485轉(zhuǎn)串口輸出，波特率961200，支持二次開發(fā) 2、自動檢測異常數(shù)據(jù)并給出ERR到控制設(shè)備 3、內(nèi)置感器，用戶可配置材料補(bǔ)償系數(shù) |
| 1um | ||||||
| 0.5um | ||||||
| 0.1um | ||||||
| 0.05um | ＜120m/min | |||||
| 0.01um | ＜24m/min | |||||
| 0.005um | ＜12m/min | |||||
| 0.001um | ＜2.4m/min | |||||
| 0.0005um | ＜1.2m/min | |||||
| 0.0001um | ＜0.24m/min | |||||
1VPP | 信號周期 | 帶寬 | 細(xì)分倍數(shù) | |||
| 20um | 500KHz | ＜=1024 | ||||
| 4um | ||||||
| 0.5um | ||||||
| 0.1um | ||||||
BISS-C | 分辨率 | 時鐘 | 位寬 | 移動速度 | ||
| 0.001um | ＜=10MHz | 16bit~48bit （可定制） | ＜240m/min | |||
| 0.01um | ||||||
| 0.1um | ||||||
SSI | 分辨率 | 時鐘 | ||||
| 0.001um | ＜=10MHz | |||||
| 0.01um | ||||||
| 0.1um |
調(diào)頻示意圖
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