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詳細介紹
中國科學院微電子研究所 KW-4A型臺式勻膠機/旋涂儀/涂膠機
產品簡介
我研究室生產的KW-4A型勻膠機適應于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點，并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號有KW-4A型和KW-5型。
產品主要特點
1、開關電流調速，穩定性能更好，轉速調節以數字顯示為準。
2、轉速在500～8000轉／分范圍內非常穩定。
3、采用雙轉速。在啟動之后，先以低速運轉，使膠攤開，然后自動轉換到高速運轉。兩種轉速及相應的時間分別可調，時間分別控制在1～18秒和3秒～1分鐘。
4、具有定時功能。
5、測速采用光電的辦法，產生光電脈沖，由晶體分頻測速準確性高。
6、"吸片"采用電磁閥控制氣路，一個氣泵可同時帶幾臺勻膠機工作，適合流水線的工藝，提高了效率。
7、在安裝結構上，采取了減振措施，保證了在運轉時噪音低。
性能指標：
參數 | 指標 |
調速范圍和勻膠時間 | Ⅰ檔調速范圍：500-2000轉/分Ⅰ檔勻膠時間：2-18秒 Ⅱ檔調速范圍：1300-8000轉／分Ⅱ檔勻膠時間：3-60秒 |
適用 | Φ5-Φ100mm硅片及其它材料等勻膠 |
電機功率 | 40W |
LED數字顯示 | 轉速穩定度：±1％，膠的均勻性：±3％ |
真空泵抽氣速率 | ≥60升／分 |
儀器尺寸 | 210×220×160mm |
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