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產品簡介
| 泵軸位置 | 邊立式 | 極限壓力 | 0.45pa |
|---|---|---|---|
| 輸送介質 | 油泵 | 葉輪數目 | 多級 |
| 應用領域 | 環保,化工,石油,地礦,制藥/生物制藥 |
EBABA荏原EV-M102N半導體可用干式真空泵
產品介紹
EBABA荏原EV-M102N半導體可用干式真空泵
EBABA荏原EV-M102N半導體可用干式真空泵
荏原 (EBARA) 高溫技術支持高負荷工藝,在半導體、液晶和太陽能電池的制造過程中會產生反應副產物。 由于其高節能性能,可以處理高負載過程并同時節省能源。 標配耐腐蝕材料,還提供排量為 110,000 L/min 的大排量型號。 憑借根據工藝條件的豐富產品陣容,可以處理各種高負荷工藝。







