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本多電子(HONDA ELECTRONICS)的超聲波清洗機以高精度、低損傷和智能化設計為核心優勢,廣泛應用于半導體、汽車、醫療等對清潔度要求較高的領域。以下從技術原理、核心型號及典型應用案例展開詳細說明:
一、技術原理與核心優勢
1. 空化效應與多頻協同
超聲波清洗機通過高頻振動(20kHz-1MHz)產生大量微小氣泡,氣泡在液體中迅速破裂時釋放強大沖擊力(空化效應),可高效剝離微米級污染物。本多電子的Dyna Shock Modulation (DM) 技術,能同時調節高低頻功率比例:
低頻(28kHz):針對金屬表面頑固油污、氧化層等進行強力清洗;
高頻(100kHz 以上):用于晶圓、光學鏡片等精密部件的無損傷清潔。
這種雙頻協同技術可消除傳統單頻清洗的 “盲區",尤其適用于復雜形狀工件(如帶盲孔的模具)。
2. 分離式設計與智能控制
部分型號(如 WDX 系列)采用清洗槽與發生器分離的結構,避免電子元件受液體侵蝕,同時支持靈活調整清洗槽尺寸。設備配備自動調諧功能,更換振子無需手動校準頻率,維護效率提升 50% 以上。此外,通過數字面板可精確控制功率(1W 為單位調節)、清洗時間及溫度(最高 80℃),并支持與生產線 MES 系統集成。
3. 材料創新與環保特性
關鍵部件采用石英振動體和無鉛壓電陶瓷,避免傳統橡膠材料溶出污染。例如,W-357-1MQG-SKC 型號的清洗接觸區使用石英,確保半導體晶圓清洗時無顆粒殘留。清洗過程無需大量化學藥劑,用水量較傳統方法減少 40%,符合 RoHS 和 ISO 14001 環保認證。
二、核心型號及技術參數
1. 半導體級清洗機:W-357BM-600
應用場景:硅晶圓、藍寶石襯底、CMP 后殘留物清洗;
技術亮點:
數字控制實現 ±1% 功率穩定性,支持與半導體產線無縫對接;
配備氮氣冷卻振子模塊,連續運行時頻率波動<0.1%;
清洗顆粒尺寸可控制在 0.1μm 以下,滿足 3nm 制程要求。
案例:某全球 TOP5 晶圓廠采用該設備后,清洗時間縮短 30%,芯片良率提升 15%。
2. 汽車精密部件清洗:WDX-600-I
應用場景:發動機燃油噴射器、變速箱齒輪、傳感器探頭;
技術亮點:
內置掃頻功能(Sweep),通過移動駐波節點消除清洗死角;
強力模式下可去除碳化沉積物,清洗后零件表面粗糙度 Ra 值降低≥30%;
兼容水性清洗劑,實現油污去除率>99.5%。
案例:豐田某發動機工廠引入該設備后,裝配線因零件污染導致的故障率下降至 0.03%。
3. 醫療級精密清洗:W-113A
應用場景:手術器械、牙科種植體、內窺鏡鏡頭;
技術亮點:
三頻順序振蕩(28kHz→45kHz→100kHz),依次瓦解頑固污漬、深入縫隙、完成精細漂洗;
防水觸控面板支持 1-99 秒分段計時,滿足 ISO 15883 醫療清洗標準;
清洗后器械表面生物負載降低 99.99%,符合 AAMI ST79 消毒規范。
案例:日本某三甲醫院采用該設備清洗腹腔鏡器械,術后感染率從 0.8% 降至 0.1%。
4. 光學級超凈清洗:W-357-1MPG
應用場景:AR/VR 鏡頭、半導體光刻掩模版、激光鏡片;
技術亮點:
石英振動體與化學液直接接觸,避免橡膠溶出污染;
振子冷卻系統(可選氮氣)確保高頻穩定輸出,清洗后鏡片表面顆粒殘留≤0.05μm;
集成兆聲(MHz 級)清洗模塊,可去除納米級有機污染物。
案例:某光學元件供應商使用該設備清洗手機攝像頭模組,良品率從 89% 提升至 97%。
三、典型行業應用案例
1. 半導體制造:晶圓清洗的防線
挑戰:3D NAND 閃存生產中,晶圓表面殘留的光刻膠和金屬離子會導致短路。
解決方案:
采用W-357BM-600進行多步清洗:先以 28kHz 去除大顆粒,再用 1MHz 兆聲清除亞微米污染物;
集成在線顆粒檢測系統,實時監控清洗效果。
成效:某存儲芯片廠清洗后晶圓表面顆粒數從 500 顆 /cm2 降至 10 顆 /cm2 以下,滿足先進封裝要求。
2. 汽車工業:動力系統的隱形守護者
挑戰:新能源汽車電機定子的硅鋼片需去除沖壓油,否則影響絕緣性能。
解決方案:
使用WDX-1200-Ⅰ的高速開關振蕩模式,在 60 秒內完成脫脂和漂洗;
配套油水分離裝置,實現清洗劑循環利用,年節約成本超 20 萬元。
成效:某電動車企業采用該方案后,電機故障率從 0.5% 降至 0.01%。
3. 醫療領域:手術安全的最后一道關卡
挑戰:達芬奇手術機器人的機械臂關節需在滅菌前清除生物膜。
解決方案:
采用W-113MK-II的脈沖清洗模式,通過間歇性高頻振動破壞生物膜結構;
與自動滅菌器聯動,實現清洗 - 干燥 - 滅菌全流程自動化。
成效:某醫療器械廠商的產品通過 FDA 認證,清洗周期從 2 小時縮短至 45 分鐘。
4. 光學精密制造:鏡頭鍍膜的前置保障
挑戰:智能手機攝像頭鏡片表面的指紋和油脂會導致鍍膜附著力下降。
解決方案:
使用W-357-1MQG-SKC的石英振動疊加化學液技術,實現分子級清潔;
配套超純水過濾系統,確保清洗液電阻率>18MΩ?cm。
成效:某鏡頭廠商的鍍膜良品率從 75% 提升至 92%,單月減少報廢損失超百萬元。
四、客戶價值與行業認可
效率提升:某汽車零部件廠引入本多電子清洗機后,單條產線日產能從 5000 件提升至 8000 件,人工成本降低 60%;
質量保障:某半導體封裝企業使用 W-357BM-600 后,芯片引腳開路不良率從 0.3% 降至 0.02%;
可持續性:清洗過程減少 70% 化學藥劑使用,某醫療中心年減排 COD(化學需氧量)達 1.2 噸。
本多電子的超聲波清洗機通過材料創新、智能控制和跨行業技術遷移,持續推動工業清洗標準的革新。其產品不僅是清潔設備,更是提升生產效率和產品競爭力的戰略工具。

